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來源:www.suanmiao.net發表時間:2017-11-22

一、電控櫃的操作
1.開水泵、氣源
2.開總電源
3.開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10後,再進入下一步操作。約需5分鍾。
4.開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啓動,真空計開關換到V2位置,抽到小于2爲止,約需20分鍾。
5.觀察渦輪分子泵讀數到達250以後,關予抽,開前機和高閥繼續抽真空,抽真空到達一定程度後才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以後才能開電子槍電源

  

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