BLLVAC-500F繼承高性能、高産量的特點與以往機型相比實現了更高的性價比，節電50%。 

常規配置

真空系統

低真空泵：2X-70（選擇：進口SV300，E2M17/275）

增壓泵：ZJP150（選擇：進口WAU）

高真空泵：渦輪分子泵（選擇：低溫泵，擴散泵或進口磁懸浮）

真空閥系統

-型號40，50，150，550

真空室加熱系統

-最高溫度：0到400℃

-型號：不鏽鋼管裝加熱器（選擇：鹵素燈管）

基片架盤型號：

-球面型（選擇：平面型，3公自轉，多行星型）

-轉速：0到30轉數/分

軟啓，軟停，可調速

電器控制系統：

-觸膜屏面板和PLC控制

-可修改和改變重要的參數

-全程自動控制鍍膜以達到最終産品所需要求

VAC系統

-進口低高真空感應器：1

MFC系統

-進口質量流量控制器：1

-進口電磁閥：1

APC系統

-進口質量流量控制器：1

-進口電磁閥：1

鍍膜沈積控制系統

-晶控控制：美國産IC-6，

XTC-3S/M，INFICON310。

-石英晶體感應器：1，2，6頭

光控控制

-國産光控（或英國inteiiemetrics）

離子源

-霍兒源（或考夫曼，RF源）

電子束源

-容量：15cc，25cc，40cc等等

-偏轉角度：180°或270°

-坩埚：4，6，8，12，16，2+1，6+1個等

深冷系統

-真空室麥斯納阱

-擴散泵冷阱